IGZO是由(yóu)銦(In)、镓(jiā)(Ga)、鋅(xīn)(Zn)和氧(O)構成的氧化物(wù)半導體In-Ga-Zn-O的簡稱。夏普於2012年4月在業界率先(xiān)開始全麵量產采用(yòng)IGZO TFT(以IGZO為基礎的TFT)的液晶麵板。將主要用於平板終端,供(gòng)應對象(xiàng)被認(rèn)為是美國蘋果公司的“ipads”。夏普計劃今後將IGZO TFT液晶屏幕膜機用於筆記本電腦和顯示器。這是(shì)一項可讓夏普(pǔ)複興液晶麵板業務的技術。
IGZO的最(zuì)大特點是載流子遷移率(lǜ)在10cm/Vs以(yǐ)上,比現有的TFT材料非晶矽高出10倍(bèi)以上。結果,IGZO能夠以(yǐ)低功耗驅動高精細(xì)麵板。另外,IGZO還具有(yǒu)透明性、可在柔性基板上低溫成膜等(děng)矽所沒有的特點。因此,IGZO在有機EL麵板和電子紙領域也(yě)備受關注。
東京工業大學教授細野秀雄的(de)團隊發現了IGZO TFT的上(shàng)述潛力(lì),並且(qiě)自始至終在研發方(fāng)麵(miàn)處於領先地位。該團隊在1996年證實IGZO TFT可實現超過10cm/Vs的高水平載流子(zǐ)遷(qiān)移率,2004年在(zài)柔性基板上製作出了IGZO TFT。
這些成果成為日本國內(nèi)外企業(yè)著手開發IGZO TFT的契機。佳(jiā)能、韓國LG電子、OLED屏幕保護(hù)膜貼膜機韓國三星電(diàn)子和凸版印(yìn)刷等企業,從2005年(nián)前後著手IGZO TFT的開發工作。最(zuì)初大多用於不到10英寸的小型麵板(bǎn),而近來達(dá)到實用化水平的成果逐漸增加(jiā),比如2010年三(sān)星開發出(chū)了70英寸的(de)液晶(jīng)麵板。夏普一直(zhí)與日本(běn)半導體能(néng)源研究所共同推進IGZOTFT的開發,但此前並(bìng)未積極地發布開發(fā)成(chéng)果(guǒ)。
此次夏普開始量產IGZO TFT液晶麵板(bǎn)後,今後估計(jì)韓國和台(tái)灣廠(chǎng)商(shāng)也會相繼量產。其(qí)中,三星平板手機保護(hù)膜貼膜機已在2011年7月就針對細野等人(rén)的研究成果為基礎的IGZO TFT技術專利群,從日本科(kē)學技術振興機構(JST)獲得了授權,由此可以看出三星量產(chǎn)IGZO TFT液(yè)晶麵板(bǎn)的姿態。